NAURA-TOPCon設備解決方案助力光伏產業提效降本 - 企業新聞

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NAURA-TOPCon設備解決方案助力光伏產業提效降本

發布時間：2022-01-12

第十七屆中國太陽級硅及光伏發電研討會（17th CSPV）在蘇州順利召開。在NAURA-TOPCon 電池技術與應用分論壇上，北方華創王曉飛博士發表了題為《TOPCon量產技術路徑思考及核心干法工藝裝備之實踐》的主題演講。

王曉飛博士認為從現有電池技術發展趨勢來看，N型高效電池市場份額未來將顯著增加，TOPCon和HJT技術競爭優勢將不斷增強。電池技術迭代，亦離不開核心關鍵工藝裝備技術提升，NAURA立足自主研發，多年來持續為TOPCon電池提效降本提供專業的設備解決方案。

TOPCon電池結構有多條工藝路線實現，從效率和量產應用兩方面綜合評估，LPCVD路線依然是產業化應用的成熟之選。

北方華創自2016年起，在業內率先布局LPCVD和硼擴核心干法工藝裝備。五年來，北方華創敏銳捕捉行業發展趨勢，積極借鑒產業化應用成功經驗，實現了超長溫區大管徑溫度場精準控制、大體積反應腔室穩定精準壓力控制等技術突破，提升了超長溫區膜層均勻性，并大幅降低設備運營維護成本。目前，北方華創LPCVD和硼擴設備持續在多個客戶端實現量產應用，并斬獲大批重復訂單。

當下正值TOPCon擴產風口，北方華創針對LPCVD和硼擴裝備產能不足、運營成本高昂的問題，順勢推出第三代設備解決方案。該方案面向210硅片的機型單管載片量分別達到2600片/管和2400片/管，單機產能分別提升86%和72%，單機年運營綜合成本分別降低60%和30%，提升產能的同時均勻性指標提升1%，鈍化性能等工藝指標亦有提升。

近年來，N型電池市場份額持續攀升，TOPCon和HJT制備設備方案持續迭代。北方華創緊跟市場，針對TOPCon的關鍵結構，隧穿氧化層的制備，除了成熟的LPCVD路線之外，還布局了三合一PECVD和PEALD，形成了覆蓋多條技術路徑的全面解決方案。

未來，北方華創將依托二十余年的半導體技術積累，持續精進光伏設備解決方案，始終以“推動產業進步，創造無限可能”為使命，在雙碳政策戰略背景下，為推動中國光伏產業持續健康發展創造無限可能！

注：CSPV是我國硅材料及光伏發電領域最重要的學術會議，CSPV以助力國內光伏企業提高核心競爭力，推動中國太陽能產業持續健康發展為宗旨，每年召集政府代表、產業領袖、業內精英，以全球市場發展趨勢為導向，圍繞晶硅材料制備技術等六大主題開展研討，自2005年舉辦延續至今已成功召開了十七屆，已在國際上具有一定聲譽和影響力。

本屆CSPV設2場主題論壇、17個專題會分會場，共發表技術報告259篇，線上觀看累計達到6萬多次。晶澳科技、隆基綠能、華為技術、德國TüV萊茵等數十家業內知名企業代表參會。北方華創就TOPCon電池前沿技術及最新產業化應用進行分享。

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